浮動(dòng)拋光方法

浮動(dòng)拋光方法
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   超精密平面浮動(dòng)拋光機(jī)采用液體靜壓軸承，并在臺(tái)面上裝有超精密金剛石立車(chē)拋光盤(pán)修整器。拋光機(jī)要放置在有空調(diào)的潔凈室內(nèi)的超潔凈工作臺(tái)上，在100級(jí)潔凈度下進(jìn)行拋光。
   
   采用純水或蒸溜水做加工液，使用公稱(chēng)直徑7nm的SiO?超微細(xì)粒子作拋光劑(質(zhì)量分?jǐn)?shù)為2%~3%）。拋光時(shí)，將拋光盤(pán)表面浸沒(méi)在拋光液內(nèi)。將表面粗糙度Rz1.0μm以下、平面度數(shù)微米的工件放在拋光盤(pán)上，并使拋光盤(pán)和工件高速回轉(zhuǎn)，借助兩者之間的拋光液的動(dòng)壓流體潤(rùn)滑狀態(tài)，使工件懸浮在拋光盤(pán)上進(jìn)行拋光。    
   浮動(dòng)拋光時(shí)，由于工件上浮量只有數(shù)微米，所以當(dāng)預(yù)加工工件的表面粗粗糙度Rz為數(shù)微米時(shí)，在工件與拋光盤(pán)間建立不起液膜，并且會(huì)損壞拋光盤(pán)，不能進(jìn)行懸浮拋光。浮動(dòng)拋光還要求工件有良好的平面度。拋光機(jī)無(wú)軸向振動(dòng)。為了防止工件與錫拋光盤(pán)接觸，還需往拋光液中添加增黏劑。因此，工件不能由粗加工或中加工直接移至最終浮動(dòng)拋光加工。浮動(dòng)拋光要求工件在的前道工序進(jìn)行精拋光，且加工表面粗糙度不大于35nm。
    
   因錫拋光盤(pán)剛性較高，并且加工中的拋光壓力較高，所以工件與拋光盤(pán)間幾微米厚度的拋光液膜的剛性也高。工件不直接與錫盤(pán)接觸，因此，錫盤(pán)在拋光過(guò)程中磨損極少，比其他拋光法更易保持平面度。另外，由于動(dòng)壓液體的均化作用，工件表面比錫盤(pán)的平面度更高。即使錫盤(pán)表面有微量不平，也不會(huì)直接“復(fù)印”到工件表面。在加工中要保持工作平穩(wěn)回轉(zhuǎn)，使用的拋光壓力僅是工件和工件夾具的自重，不需要施加外力。
 
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